技术参数：
离子源
离子枪：两个具有低能聚焦特性的潘宁离子枪
减薄角度：+10° 到 -10°, 每个离子枪均可独立调节
离子束能量：100 V 到 8.0 kV
离子束流密度：10m A/cm2 峰值
离子束对中：利用荧光屏精确对中
离子束直径：可由气流控制器或放电电压来调节
样品台
样品大小：3 mm 或 2.3 mm
样品旋转：1 到 6 rpm 连续可调
束流调制：扇形范围可调的单束调制或双束调制
X, Y 平移：在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm
真空系统
干泵系统：两级隔膜泵支持 80 升/秒的涡轮分子泵
压力：5×10-6 托基本压力，8×10-5 托工作压力
真空规：冷阴极型，用于主样品室：固体型，用于前级机械泵
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